Witrynaimplant boron dose=8e12 energy=100 pears #对表面进行湿氧处理,温度为950度,时间为100分钟 diffus temp=950 time=100 weto2 hcl=3 由 可知,氧化层厚度tox越薄,则Cox越大,使阈值电压VT降低。 费米势: ,,当P区掺朵浓度NA变大,则费米势增大,阈 值电压Vt增大。 氧化层电荷密度Qox增大,则VT减小。 二、实验内容 1、根 … Witrynaimplant boron dose=8e12 energy=100 pears (2)、保存并重新进行仿真; (3)、保存仿真所得的器件结构以及图形。 1.700e-5 由表7.1,表7.2可看出,随着阱浓度的增 …
MOS晶体管器件与工艺模拟 - 百度文库
Witryna1 mar 2024 · implant boron dose=8e12 energy=100 pears 4.离子注入 注入硼(P型);注入剂量:8e12;注入离子的能量100,单位KeV,注入后杂质浓度的峰值位置 … Witryna#对表面进行B离子注入,离子剂量为8e12,能量为100KeV implant boron dose=8e12 energy=100 pears #对表面进行湿氧处理,温度为950度,时间为100分钟 diffus temp=950 time=100 weto2 hcl=3 # #N-well implant not shown - #在进行干氧处理,温度在50分钟内从1000度升高1200度,大气压为0.1个 # welldrive starts here diffus … the packhorse rowstock
go athena - 百度文库
Witryna#P-well Implant # implant boron dose=8e12 energy=100 pears # diffus temp=950 time=100 weto2 hcl=3 # #N-well implant not shown - # # welldrive starts here. ... #vt adjust implant . implant boron dose=9.5e11 energy=10 pearson # depo poly thick=0.2 divi=10 # #from now on the situation is 2-D # Witryna31 mar 2024 · implant boron dose=8e12 energy=100 pears (2)、 保存 并重新进行仿真; (3)、保存仿真 所得 的器件 结构 以及 图形 。 表7.1改变阱浓度所得器件结构及曲线 参数 条件 器件剖面图 栅极特性曲线 输出I—V特性 8e10cm-2 8e12cm-2 8e14cm-2 表7.2提取参数 Witryna6 gru 2024 · implant boron dose=8e12 energy=100 pears # diffus temp=950 time=100 weto2 hcl=3 # # N–well implant not shown ... #vt adjust implant. implant boron dose=9.5e11 energy=10 pearson # depo poly thick=0.2 divi=10 # #from now on the situation is 2–D # etch poly left p1.x=0.35 # method fermi compress. shutdown without update windows